SOI 실리콘 웨이퍼의 기본 소개

회사는 MEMS, 전력소자, 압력센서, CMOS 집적회로 제조 등 광범위한 응용 분야의 고객에게 적합한 다양한 사양과 고품질 SOI 실리콘 웨이퍼(Silicon On Insulator-Silicon On Insulator)를 고객에게 제공할 수 있습니다. SOI 웨이퍼는 고속 및 저전력 장치에 적합한 솔루션을 제공하며 고전압 및 RF 장치를 위한 새로운 솔루션으로 널리 알려져 있습니다. SOI 웨이퍼는 3개 층으로 구성된 샌드위치 모양의 샌드위치 구조입니다. 상부 층(장치 층), 중간 매립 산화물 층(절연 SiO2 층) 및 하부 기판(벌크 실리콘)을 포함합니다. SOI 웨이퍼는 SIMOX 공법과 웨이퍼 본딩 기술을 이용하여 생산되므로, 보다 얇고 정밀한 소자층, 균일한 두께, 낮은 결함 밀도를 구현할 수 있습니다.