박막 증착의 균일성은 무엇입니까?
박막 균일성은 웨이퍼 전체에 걸쳐 박막 두께 분포의 일관성을 말합니다. 균일성이 좋다는 것은 웨이퍼의 모든 위치에서 박막 두께가 매우 가깝다는 것을 의미합니다.
박막 균일성의 유형은 무엇입니까?
일반적으로 다음 유형이 고려됩니다.
●웨이퍼 내 균일성: 단일 웨이퍼 내의 균일성.
●웨이퍼 간 균일성: 서로 다른 웨이퍼 사이의 균일성.
●Lot 간 균일성: 웨이퍼의 다른 배치 간 균일성.
균일성은 어떻게 계산되나요?
웨이퍼 내 균일성을 예로 들면, 표준 편차는 다음 공식을 사용하여 계산됩니다.
이 공식은 각 데이터 포인트와 데이터 평균 간의 제곱 차이의 평균의 제곱근을 계산합니다.
σ (표준편차): 데이터의 분산 정도를 나타냅니다. 표준편차가 클수록 분산도 커집니다.
N: 측정된 데이터 포인트의 총 수.
티: i번째 데이터 포인트의 두께 값입니다.
평균: 모든 데이터 포인트의 평균값입니다.
(ti−평균)^2: 각 데이터 포인트와 평균 간의 제곱 차이입니다.
∑: 요약.
이 공식은 이해하기 다소 어렵기 때문에 예를 들어 보겠습니다.
얇은 필름 두께 데이터 포인트 집합이 55.1, 54.8, 55.3, 54.9, 55.0, 54.7, 55.2, 54.9, 55.1, 54.8이라고 가정해 보겠습니다.
●먼저, 이 10개 지점의 평균을 계산합니다: 평균=54.98.
●그런 다음 각 두께와 평균 사이의 제곱 차이를 계산합니다: {{0}}.0144, 0.0324, {{10}}.1024, 0.0004, 0.0004, 0.0784, 0.0484, 0.0004, 0.0144, 0.0324.
●이 제곱 차이를 합산하고 평균을 구하세요: (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.0784 + 0.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996.
●마지막으로 표준편차를 계산합니다: σ=0.193.