웨이퍼 노치란?
노치는 일반적으로 V 또는 U 모양으로 실리콘 웨이퍼 바로 아래에 절단된 작은 홈입니다. 노치에는 두 가지 기능이 있습니다. 하나는 실리콘 웨이퍼의 결정 방향을 표시하는 것입니다.<100>, <110>, <111>다른 기능은 반도체 제조 장비에서 실리콘 웨이퍼를 올바르게 배치하고 정렬할 수 있도록 하는 것입니다. 일반적으로 노치는 8-인치 및 12-인치 웨이퍼에서 발견됩니다.
노치는 어떤 모습인가요?
노치의 크기는 위 그림과 같이 SEMI 표준을 엄격히 준수해야 합니다.
1. Vw는 노치의 전체 너비를 나타내며, 그 크기는 실리콘 웨이퍼의 직경 및 두께와 관련이 있습니다.
2. Vh는 노치의 깊이로, 실리콘 웨이퍼 가장자리에서 홈 바닥까지의 수직 거리를 나타냅니다. 일반적으로 범위는 1.0에서 1.25mm입니다. Vh는 노치의 정렬 정확도를 보장하는 데 중요합니다.
3. AngV, 즉 노치 각도(Notch Angle)입니다. AngV는 노치의 각도로, 양쪽 홈 가장자리 사이의 각도입니다. 일반적으로 89도에서 95도 사이입니다. 이 각도는 노치의 기하학적 구조와 위치 결정에 결정적인 역할을 합니다.
4. R1과 R2는 노치 양쪽 모서리의 반경을 나타냅니다. 이 두 반경은 홈 모서리의 매끄러움을 결정하고 노치의 응력 집중에 영향을 미치며 실리콘 웨이퍼의 기계적 특성에 영향을 줍니다.
5. Vr은 노치 바닥의 곡률 반경으로, 홈 바닥의 호 크기를 나타냅니다. VR은 노치의 곡선 모양과 부드러움을 변경할 수 있습니다. Vr이 클수록 노치 바닥이 더 평평해지며, 이는 응력 집중을 줄이는 데 도움이 됩니다.
6. 노치 방향: 홈의 방향은 웨이퍼의 특정 결정 방향과 평행하며 ±2도의 편차가 허용됩니다.