실리콘 웨이퍼는 전자, 컴퓨터, 통신, 자동차, 항공우주 및 기타 분야에서 널리 사용되는 일종의 반도체 소재입니다. 실리콘 웨이퍼는 실리콘 웨이퍼의 순도에 따라 반도체 실리콘 웨이퍼와 태양광 실리콘 웨이퍼로 분류됩니다. 공정에 따라 연마 웨이퍼, 어닐링 웨이퍼, 에피택셜 웨이퍼, SOI 웨이퍼로 분류됩니다. 크기에 따라 12인치\300mm, 8인치\200mm, 6인치\150mm로 분류되며, 그중 200mm와 300mm 실리콘 웨이퍼는 더 넓은 적용 범위를 갖습니다.
실리콘 웨이퍼 분류 |
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| 분류 기준 | 제품 카테고리 | 소개하다 |
| 실리콘 웨이퍼 순도에 따른 분류 | 반도체 실리콘 웨이퍼 광전지 실리콘 웨이퍼 |
1. 반도체 실리콘 웨이퍼는 집적 회로를 만드는 데 중요한 재료입니다. 포토리소그래피, 이온 주입 및 기타 방법을 통해 집적 회로 및 다양한 반도체 장치를 만들 수 있습니다. 2. 태양광 실리콘 웨이퍼는 태양광 발전 분야에서 사용되는 실리콘 웨이퍼입니다. 태양광 분야에서 실리콘 웨이퍼는 태양 에너지를 전기 에너지로 완전히 변환하는 데 주로 사용됩니다. |
| 공정별 분류 | "광택된 웨이퍼 어닐링된 웨이퍼 에피택셜 웨이퍼 SOI 웨이퍼" |
1. 연마 웨이퍼는 가장 널리 사용되고 가장 많이 사용되며 가장 기본적인 제품입니다. 기타 실리콘 웨이퍼 제품은 웨이퍼 연마를 기반으로 2차 가공을 거쳐 생산됩니다. 2. 어닐링 웨이퍼는 연마 웨이퍼를 아르곤이나 산소로 채워진 고온 환경에서 어닐링하여 얻습니다. 이를 통해 연마 웨이퍼 표면의 산소 함량을 크게 줄일 수 있으므로 결정 무결성이 향상되고 더 높은 반도체 식각 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 3. 에피택셜 웨이퍼는 연마 웨이퍼 표면에 기상 성장 기술을 사용하여 연마 웨이퍼 표면에 단일 제품 구조층을 에피택셜 성장시켜 표면이 절단에서 절단된 연마 웨이퍼보다 매끄러워 표면이 감소합니다. 결함. 4. SOI 웨이퍼는 샌드위치 구조입니다. 즉, 하단 층은 연마 웨이퍼, 중간은 매립 산화물 층, 상단 층은 활성층 연마 웨이퍼로 높은 전기 절연성을 달성하여 기생 용량을 줄이고 누출. |
| 크기별 분류 | 1 2인치 \ 3 0 0mm 8인치 \ 2 0 0mm 6인치 \ 1 5 0mm |
1. 현재 시장의 주류 크기인 CPU, GPU 및 기타 로직 칩과 메모리 칩과 같은 고급 제품에 주로 사용되며 약 65~70%의 시장 점유율을 차지합니다. 2. 주로 전원 관리 칩, MCU, 전력 반도체 등 중저가 제품에 사용되며 시장 점유율은 약 25~27%입니다. 3. 전력반도체 등 중저가 제품에 주로 사용되며 시장점유율은 6~7%에 가깝다. |
실리콘 웨이퍼는 순도에 따라 반도체 실리콘 웨이퍼와 태양광 실리콘 웨이퍼로 분류됩니다. 광전지 분야에서는 단결정 실리콘과 다결정 실리콘이 모두 사용되며 순도 요구 사항은 약 99.9999%(4-6N)입니다. 그들은 주로 태양 전지를 만드는 데 사용되며 태양 광 발전소, 옥상 분산 태양 광 발전 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다. 반도체 분야에서는 단결정 실리콘만 사용된다. 공정이 계속 축소됨에 따라 순도는 99.999999999%(11N) 이상에 도달해야 합니다. 주로 칩을 만드는데 사용되며 통신, 가전제품, 자동차, 산업 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다. 실리콘 웨이퍼 순도 분류 지수에서는 다양한 순도 수준에 따라 분류되며 일반적으로 순도를 측정하기 위해 ppm(즉, 백만분율)을 사용합니다. 실리콘 웨이퍼는 결정질 실리콘, 반도체 실리콘, 전자 실리콘, 공업용 실리콘, 생산용 실리콘, 일반 실리콘 등에 순도에 따라 사용됩니다.
반도체 실리콘 웨이퍼와 태양광 실리콘 웨이퍼의 비교 |
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| 응용 | 순도 기준 | 실리콘 원료 종류 | 표면 표준 | 모양과 크기 | 응용 |
| 반도체 | 99.999999999%(11N) | 단결정 실리콘 | 평탄도와 평활도를 1nm 이내로 제어 | 원형, 직경 150, 200, 300mm | 주로 칩을 만드는 데 사용되며 통신, 가전제품, 자동차, 산업 등에 널리 사용됩니다. |
| 태양광 발전 | 99.9999%左右(4-6N) | 단결정 실리콘과 다결정 실리콘이 있는데, 그 중 다결정 실리콘이 약 60%를 차지합니다. | 반도체 분야에 비해 기준이 낮습니다. | 정사각형, 측면 길이는 125mm, 150mm 및 156mm일 수 있습니다. | 주로 태양광 발전소, 옥상 분산형 태양광 발전 및 기타 분야에서 널리 사용되는 태양 전지를 만드는 데 사용됩니다. |
실리콘 웨이퍼 순도 분류 지수 |
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| 실리콘 웨이퍼 순도 수준 | 실리콘 웨이퍼 순도 | 실리콘 웨이퍼 불순물 |
| 6N레벨 | 순도는 99.9999% | 즉, 불순물이 10ppm을 초과하지 않는 것입니다. |
| 7N레벨 | 순도는 99.99999% | 즉, 불순물이 1ppm을 초과하지 않는 것입니다. |
| 8N레벨 | 순도는 99.999999% | 즉, 불순물이 0.1ppm을 초과하지 않습니다. |
| 9N레벨 | 순도는 99.9999999% 이상입니다. | 즉, 불순물이 0.01ppm을 초과하지 않습니다. |
용도별 실리콘 웨이퍼 순도 지수 |
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| 적용순도별 분류 | 특정 지표 |
| 결정질 실리콘 | 결정질 실리콘은 다이아몬드와 규사로 합성되며 제품 순도는 99.999%에 이릅니다. |
| 반도체 실리콘 | 반도체 실리콘은 결정질 실리콘을 추가로 가공하여 얻습니다. 반도체 실리콘의 순도는 다음과 같습니다. 99.9999%는 결정질 실리콘의 업그레이드 버전입니다. |
| 전자 실리콘 | 전자 실리콘은 전자 장치를 제조하는 데 사용됩니다. 순도는 99.999999%에 이릅니다. 전자 실리콘은 결정질보다 9가 6개 더 많습니다. 실리콘은 69등급 실리콘으로도 알려져 있습니다. |
| 산업용 등급 실리콘 | 산업용 등급 실리콘은 산업용 부품을 제조하는 데 사용됩니다. 순도는 일반적으로 99.99%-99.999%에 이르며 이는 다음보다 약간 더 나쁩니다. 결정질 실리콘. |
| 생산 등급 실리콘 | 생산 등급 실리콘은 생산 부품을 제조하는 데 사용됩니다. 순도는 일반적으로 99.95%-99.99% 사이로 이는 다음보다 약간 더 나쁩니다. 결정질 실리콘. |
| 일반 실리콘 | 일반 실리콘은 더 일반적인 실리콘입니다. 순도는 일반적으로 99%-99.8% 사이로 가장 일반적인 실리콘 물질입니다. |