더미 웨이퍼
"더미"라는 단어는 "가짜"또는 "시뮬레이션 된 ."더미 웨이퍼를 의미하며, 가짜 웨이퍼라고도하는 더미 웨이퍼는 일반적으로 패턴이 없거나 몇 개의 패턴 레이어 만 있습니다 . 주요 응용 프로그램 시나리오는 다음과 같습니다.
공식 생산 전에 최적의 상태에 있는지 확인하기 위해 반도체 장비 디버깅 및 교정에 사용 .
새로운 프로세스를 도입하거나 기존 프로세스를 조정할 때 사용하여 대량 생산 웨이퍼에 대한 위험을 줄이기 위해 테스트 및 최적화가 가능합니다 .
웨이퍼 테스트
테스트 웨이퍼 (엔지니어링 웨이퍼라고도 함)는 전체 프로세스 흐름을 거치고 다양한 패턴과 구조 . 주요 기능은 다음과 같습니다.
새로운 칩 제품을 도입하는 동안 테스트 웨이퍼는 제조 공정을 검증하고 최적화하는 데 사용되어 궁극적으로 대량 생산을 가능하게합니다 .
대량 생산 웨이퍼에서 프로세스 문제가 발생하면 테스트 웨이퍼가 해당 DOE (실험 설계) 테스트에 사용되어 프로세스 .을 개선하는 데 도움이됩니다.
대량 생산 웨이퍼
대량 생산 웨이퍼는 고객에게 배송되는 반도체 장치를 생산하는 데 사용됩니다. .이 웨이퍼는 생산 공정에서 엄격한 품질 관리를 통해 최종 제품이 고객 요구 사항을 충족 할 수 있도록 .입니다.
왜 이러한 유형의 웨이퍼가 별도로 분류됩니까?
차이점은 주로 비용과 중요도 측면에서 비용과 중요성 .을 기준으로합니다.
대량 생산 웨이퍼> 테스트 웨이퍼> 더미 웨이퍼 .
대량 생산 웨이퍼는 고객에게 배송되며 회사 전체의 경제 생명선을 나타냅니다 . 고품질 및 고수익 . 프로세스 매개 변수와 워크 플로우는 비교적 고정되어 있어야하며 모든 변경 사항은 100% 안전하고 신뢰할 수 있어야합니다. ..
따라서 테스트 및 프로세스 최적화 중에 귀중한 질량 생산 웨이퍼를 낭비하지 않기 위해 저비용 및 유연한 더미 웨이퍼 및 엔지니어링 (ENG) 웨이퍼가 사용됩니다 .