제품 설명
200mm 실리콘 웨이퍼는 연구 개발은 물론 대량 생산에도 활용이 가능합니다. 얇거나 두꺼운 웨이퍼, 광택 또는 비연마 표면 옵션, 특정 요구 사항에 따른 기타 기능을 사용하여 정확한 사양에 맞게 맞춤화할 수 있습니다.
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성장 |
CZ, MCZ, FZ |
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등급 |
프라임, 테스트, 더미 등 |
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지름 |
8인치 / 200mm |
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두께 |
200~3000um |
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마치다 |
컷, 랩핑, 에칭, SSP, DSP 등 |
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정위 |
(100) (111) (110) (531) (553) 등 |
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오프 컷 |
최대 4도 |
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종류/도펀트 |
P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, 고유 |
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비저항 |
CZ/MCZ: 0.001 ~ 1000ohm-cm |
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FZ: 최대 20k ohm-cm |
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박막 |
* PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni, Fe, Mo. 등, 코팅 두께 최대 20, 000 Å / ± 5 % |
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* LPCVD/PECVD: 산화물, 질화물, SiC 등, 코팅 두께 최대 200, 000 Å / ± 3 % |
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* 실리콘 에피택셜 웨이퍼 및 에피택셜 서비스(SOS, GaN, GOI 등). |
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프로세스 |
DSP, 초박형, 초박형 등 |
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소형화, 백그라인딩, 다이싱 등 |
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MEMS (모스) |
제품 사진

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